Принцип измерения ускорения прост и надежен: инерция движущегося тела преобразуется в силу согласно второму закону Ньютона. Основными элементами акселерометра являются пружина, испытательная масса и окружающие опорные конструкции. Пружина соединяет массу с опорой. Когда скорость датчика изменяется, контрольная масса вынуждена следовать за изменением через пружинную муфту. Чтобы изменить движение контрольной массы, необходима сила. Под действием этой силы пружина изгибается, и расстояние между телом и испытательной массой изменяется пропорционально ускорению.
В инклинометрах МЭМС компании Sisgeo используется емкостной датчик: в емкостном датчике опора и контрольная масса изолированы друг от друга, и измеряется их емкость или емкость накопления заряда. По мере уменьшения расстояния емкость увеличивается, и электрический ток течет к датчику; когда расстояние увеличивается, происходит обратное. Датчик преобразует ускорение тела в электрический сигнал.
Ядром наших МЭМС-инклинометров является симметричный чувствительный элемент ускорения с объемным микромеханизмом, который имеет два чувствительных конденсатора. Симметрия снижает температурную зависимость и чувствительность к поперечным осям, одновременно улучшая линейность.
Все приборы на базе Sisgeo MEMS имеют встроенный термистор NTC для измерения значения температуры во время считывания.